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1.4氯化氫(qing)(qing)合(he)成(cheng)工藝簡圖:節硅粉(fen)精(jing)制工藝2.1硅粉(fen)的(de)性質硅的(de)密(mi)度為2.329kg\cm3,沸點為2355℃,熔點為14801500℃,在三氯氫(qing)(qing)硅生產中其水分(fen)小于200ppm。

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三氯氫硅是采用硅粉與氯化(hua)氫氣(qi)體在(zai)流化(hua)床(chuang)反應器中生(sheng)成(cheng)。在(zai)生(sheng)產(chan)(chan)中消耗(hao)大量的本項目采用目前國內外成(cheng)熟的而且(qie)通過優(you)化(hua)的三氯氫硅生(sheng)產(chan)(chan)工藝——沸騰(teng)氯化(hua)法(fa)生(sheng)產(chan)(chan)。

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2011年3月14日-2.2.1以四氯(lv)化硅為(wei)原(yuan)(yuan)(yuan)料(liao)(還(huan)原(yuan)(yuan)(yuan)法(fa))132.2.2以硅粉為(wei)原(yuan)(yuan)(yuan)料(liao)(直接(jie)法(fa)、硅氫(qing)氯(lv)化法(fa))132.2.3工業硅粉.142.3三氯(lv)氫(qing)硅生產工藝流程.15。

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一種四氯化硅(gui)轉化生(sheng)產三(san)氯氫(qing)(qing)硅(gui)的方法(fa),其特征在(zai)于,該方法(fa)包括在(zai)催化劑存在(zai)下,將四氯化硅(gui)、氫(qing)(qing)氣氣流和硅(gui)粉接觸,得到三(san)氯氫(qing)(qing)硅(gui);所(suo)述氫(qing)(qing)氣氣流為由三(san)氯氫(qing)(qing)硅(gui)與氫(qing)(qing)氣反應制備。

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