MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在固態裝配型(xing)諧振器(SMR)方(fang)面,論文采用上述模型(xing)分(fen)析了(le)(le)四(si)分(fen)之一波長布拉格反射柵(zha)對其諧振特性的影響,得到了(le)(le)SMR器件獲得理想(xiang)性能所(suo)需的少(shao)反射柵(zha)對數(shu);另外(wai),考慮(lv)到實際(ji)。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓電層的典型厚度在幾個微米或(huo)壓力場看起來與(單晶(jing)的)石英(ying)模式的石英(ying)這種類(lei)型的BAW被稱(cheng)為(wei)固態裝(zhuang)配(pei)諧(xie)(xie)振器(SMR)。魯棒(bang)性(xing)而言,,則可減少諧(xie)(xie)振器。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固態裝(zhuang)配型諧振器(SMR)的模擬分析湯亮郝震宏喬東海汪(wang)承灝摘要:正1引言近年來,薄膜體(ti)聲波諧振器(FBAR)由于其(qi)較小的體(ti)積以及可與IC電路進行單。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這樣形成的(de)諧振(zhen)器是固態裝配諧振(zhen)器(SMR)。在一(yi)個實(shi)施(shi)例(li)中(zhong),襯底(di)12由(you)硅(Si)制成,PZ層(ceng)18由(you)氮化鋁(AlN)制成。或者,也可以使用其他(ta)的(de)壓電材(cai)料來制作(zuo)PZ層(ceng)18。在一(yi)。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基于CMOS工藝的(de)(de)高(gao)性(xing)(xing)能射頻濾(lv)波器:體聲波濾(lv)波器BAW第2頁(ye)/共6頁(ye)<上一頁(ye)下這種類型的(de)(de)BAW被稱為固態(tai)裝配諧振器(SMR)。魯(lu)棒性(xing)(xing)而言,SMR比膜(mo)結構的(de)(de)BAW要好。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這種(zhong)類型的BAW被稱為固態裝配(pei)諧振器(SMR)。魯棒性而言,SMR比膜結構的BAW要好很多。在劃片和裝配(pei)所需的各種(zhong)標準(zhun)工序中,沒有機(ji)械損壞(huai)的風險。壓電(dian)層(ceng)和電(dian)極層(ceng)上。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和電極(ji)做成膜結構(gou)或一(yi)并沉積到一(yi)個(ge)薄的支撐膜上(shang),形(xing)(xing)成空氣(qi)一(yi)固體交(jiao)界面;還有(you)一(yi)種(zhong)方式是采用“聲波鏡”形(xing)(xing)成反射(she)面來實現,這種(zhong)結構(gou)被稱為“固態裝配諧振器(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯鈦酸鉛(qian)溶膠凝膠諧(xie)振(zhen)器建(jian)立微型體聲波諧(xie)振(zhen)器機(ji)械結(jie)構的等效電路模型,運用PSPICE軟件研究4湯亮;郝(hao)震宏;喬(qiao)東海(hai);汪承灝(hao);;ZnO固(gu)態(tai)裝配型諧(xie)振(zhen)器(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓(ya)電薄膜(mo)諧(xie)振器可以分類為FBAR(膜(mo)體(ti)聲諧(xie)振器)型和SMR(固態裝配諧(xie)振器)型。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上述(shu)聲(sheng)波(bo)器(qi)件的示例(li)為諸如FBAR(膜(mo)體聲(sheng)波(bo)諧(xie)振器(qi))和(he)SMR(SolidlyMoutedResonator:固態裝配諧(xie)振器(qi))的薄膜(mo)諧(xie)振器(qi)。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲(sheng)諧振器(10;110;和210)包括少部分地補償(chang)通過電極(ji)壓電疊層(ceng)(18)引入的(de)溫度(du)感應效應的(de)鐵磁補償(chang)器(20;120;和220)。該(gai)補償(chang)器具有正(zheng)頻(pin)率溫度(du)系數,而疊層(ceng)具有負。
BAW_百度文庫
包含這(zhe)些壓電薄(bo)膜(mo)諧振(zhen)器(qi)(qi)的濾波器(qi)(qi)也(ye)受(shou)到關注。[0003]壓電薄(bo)膜(mo)諧振(zhen)器(qi)(qi)的例子包括(kuo)FBAR(薄(bo)膜(mo)腔聲諧振(zhen)器(qi)(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固(gu)態裝(zhuang)配(pei)諧振(zhen)器(qi)(qi),Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將(jiang)上(shang)述壓(ya)電薄膜諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)(qi)分(fen)為兩種類型(xing),FBAR(薄膜腔聲諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)(qi))和SMR(固態(tai)裝配諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)(qi))。FBAR包(bao)括層疊(die)在(zai)諸(zhu)如硅或玻璃的(de)基板上(shang)的(de)上(shang)電極(ji)(ji)膜、壓(ya)電膜和下電極(ji)(ji)膜的(de)層疊(die)結構。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包(bao)(bao)含(han)這些壓電薄(bo)膜(mo)諧振(zhen)器(qi)的濾(lv)波器(qi)也受到關注。壓電薄(bo)膜(mo)諧振(zhen)器(qi)的例子包(bao)(bao)括FBAR(薄(bo)膜(mo)腔聲諧振(zhen)器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態(tai)裝(zhuang)配諧振(zhen)器(qi),SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另外值(zhi)得一提的(de)(de)是,德國的(de)(de)Infneon公司在2003年推出(chu)了具有布拉格反(fan)射(she)層結構的(de)(de)固貼式(又稱固態裝(zhuang)配型)薄膜體聲(sheng)波諧振器(SMR-FBAR)[9-10].而我國關于。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引(yin)言固(gu)態(tai)引(yin)信(xin)諧振(zhen)器是(shi)(shi)電子(zi)安全系統的(de)重要組成部分(fen)之一,它能(neng)在后坐加(jia)速度和旋轉離心力的(de)作用下(xia)向前運動,使限位(wei)保險處(chu)于(yu)鎖定(ding)狀(zhuang)態(tai),從(cong)而使引(yin)信(xin)處(chu)于(yu)待發狀(zhuang)態(tai)。但是(shi)(shi),。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫米(mi)波(bo)平(ping)面振蕩器(qi)基片集成波(bo)導相位噪聲(sheng)雙端口壓控振蕩器(qi)注(zhu)入鎖定(ding)諧波(bo)振蕩器(qi)毫米(mi)波(bo)平(ping)面振蕩器(qi)是毫米(mi)波(bo)平(ping)面集成系統ZnO固態裝配型諧振器(qi)(SMR)的模擬分析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲諧振器(qi)(10;110;和(he)210)包括(kuo)少部分地補償通過電極壓電疊層(18)引入的(de)溫度感應(ying)效(xiao)應(ying)的(de)鐵(tie)磁(ci)補償器(qi)(20;120;和(he)220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關鍵詞:微波(bo)濾波(bo)器(qi)時域(yu)有限差分(fen)法階梯阻抗諧(xie)振(zhen)器(qi)橢圓函數濾波(bo)器(qi)多層6湯亮;郝震宏(hong);喬東海;汪承灝;;ZnO固(gu)態裝配型諧(xie)振(zhen)器(qi)(SMR)的模(mo)擬分(fen)析[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘(zhai)要固(gu)(gu)態微型諧(xie)振器的工(gong)作頻(pin)率高、功率容量大、損耗低、體積小(xiao),是目前有(you)望第三種為本研究(jiu)采(cai)用(yong)反射層(ceng)聲(sheng)學隔離固(gu)(gu)定結構(SolidlyMountedResonatorSMR),如(ru)圖l一(yi)。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在固態裝配型諧振器(qi)(SMR)方面,論文(wen)采用上述(shu)模型分析了(le)四分之(zhi)一波長布拉格反(fan)射柵對其(qi)諧振特性的影響,得到了(le)SMR器(qi)件獲得理想性能(neng)所需(xu)的少反(fan)射柵對數;另外,考慮到實(shi)際。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這樣形(xing)成的諧(xie)振器是固(gu)態裝配諧(xie)振器(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一個實(shi)施例中,襯底12由硅(gui)(Si)制成,。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大字報(bao)利用無線傳感器網(wang)絡實(shi)現運動(dong)聲(sheng)源的定(ding)位與跟(gen)蹤錄取,報(bao)告用相對運動(dong)幾何求解BOT問題ZnO固(gu)態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析PGC解調光纖傳聲(sheng)器技(ji)術的討論一種單。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將上(shang)(shang)述壓電(dian)薄膜(mo)諧振器分為(wei)兩種(zhong)類(lei)型,FBAR(薄膜(mo)腔(qiang)聲諧振器)和SMR(固態(tai)裝配諧振器)。FBAR包括層疊在諸(zhu)如硅或玻璃的(de)基板(ban)上(shang)(shang)的(de)上(shang)(shang)電(dian)極膜(mo)、壓電(dian)膜(mo)和下電(dian)極膜(mo)的(de)層疊。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年10月31日-壓電薄膜諧振器可分成FBAR(薄膜塊體聲波諧振器)型和SMR(固態裝(zhuang)配(pei)諧振器,solidlymountedresonator)型。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該(gai)傳感器(qi)是混合型諧振無源(yuan)諧振結構(gou),其(qi)可(ke)以在制造(zao)過程中被集成于車輛(liang)地面連接裝置(zhi)HBAR“高模薄(bo)膜體聲波諧振器(qi)”),或者帶(dai)有(you)布拉格反射鏡(SMR“固態裝配型諧振。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該傳感器(qi)是混合型諧(xie)振無(wu)源諧(xie)振結構,其可(ke)以在制造過程(cheng)中被集成于車(che)輛地面連接裝置(zhi)HBAR"高(gao)模薄膜體聲波諧(xie)振器(qi)"),或者(zhe)帶有布拉格反射(she)鏡(jing)(SMR"固態裝配型諧(xie)振器(qi)"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年6月(yue)16日-[0020]壓電薄(bo)膜諧振(zhen)器(qi)包(bao)括(kuo)FBAR型(xing)和SMR型(xing),其中(zhong)FBAR是(shi)薄(bo)膜體聲波諧振(zhen)器(qi)(Film-BulkAcousticResonator)的縮寫,以及SMR是(shi)固態安裝諧振(zhen)器(qi)(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年(nian)10月5日-將上述壓電(dian)薄膜諧(xie)振器分為兩種類型(xing),FBAR(薄膜腔聲(sheng)諧(xie)振器)和SMR(固(gu)態裝配諧(xie)振器)。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓電薄(bo)膜諧(xie)(xie)振(zhen)器可分成(cheng)FBAR(薄(bo)膜塊體聲波諧(xie)(xie)振(zhen)器)型(xing)和(he)SMR(固態裝配諧(xie)(xie)振(zhen)器,solidlymountedresonator)型(xing)。FBAR具有由上(shang)部(bu)電極、壓電膜和(he)下(xia)部(bu)電極構成(cheng)的。